ESCALab, USTC

仪器型号：ESCALAB MK II

生产厂商: 英国VG Scientific

仪器价格: US$ 479,460

到货日期: 1985年1月

验收日期: 1986年1月

• XPS灵敏度：1×10^5cps, 分辨率：0.9eV
• UPS分辨率：140meV时, 银价带费米边的计数率为5×10^4cps
• SAM灵敏度：8×10^4cps(CuLMM), 最佳线扫描空间分辨率2000Å
• 极限真空度: 制备室≤5×10^-10mbar, 分析室≤2×10^-10mbar

• X射线光电子能谱(XPS): 带有铝／镁双阳极X射线源，可获得元素内壳层的光电子能谱。
• 紫外光电子能谱(UPS): 配有He I，He II放电灯，可获得元素价电子的高分辨率的光电子能谱。
• 扫描俄歇电子能谱(SAM): 可获得样品表面微区(µm量级)的俄歇信号。可作表面线扫描，面扫描分析。
• 样品制备: 可对样品作以下处理：样品加热到600℃；用氩离子枪对样品进行清洁处理；样品表面可吸附气体，蒸镀金属。

电于能谱仪主要用于表面的成分分析和表面元素化学状态的分析，其主要使用范围如下:

• 半导体大规模，超大规模集成电路的研究以及产品质量控制。
• 冶金工业中：寻求各种表面处理技术，以获得材料的特殊性能，如耐磨性、高硬度，耐腐蚀性等。
• 固体化学；研究固体的表面吸附，表面反应和表面化学状态。
• 材料科学：研究材料表面的成分和结构，探索表面性能。